[20p-P01-1~3] 6.5 表面物理・真空

[20p-P01-3] Zr系金属ガラスの低圧酸素加熱による深さ方向元素組成変化

鷺 拓未¹、増田 悠右¹、〇遠田 義晴¹、富樫 望² (1.弘大院理工、2.アダマンド並木)

キーワード：金属ガラス、酸化、深さ元素組成

Zr系金属ガラスは、熱処理を施すことにより表面が深い青色に発色し硬度も増す特徴を持つ。また加熱温度や加熱時間により、異なる発色を示す。このような変化は、金属ガラスの酸化に伴う元素組成深さ分布の変化によるものと考えられる。そこで本研究では、加熱条件の異なるいくつかの試料を、AESおよびSAMにより詳細に調べ、元素組成深さ分布と発色との関係を明らかにする。