PDF ダウンロード スケジュール 13 いいね! 0 コメント (0) 16:00 〜 18:00 [20p-P05-1] 800℃で堆積させた3C-SiC成長モードのMMS圧力依存性 〇(M2)宮本 耀1、津原 大輝1、齊藤 敦1、成田 克1 (1.山形大院理工) キーワード:立方晶炭化ケイ素