2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-P05-1~3] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2022年9月20日(火) 16:00 〜 18:00 P05 (体育館)

16:00 〜 18:00

[20p-P05-2] モノメチルシランによる金属触媒上3C-SiCワイヤ成長

〇(M2)四方 優1、亀山 大輔1、大音 隆男1、齊藤 敦1、成田 克1 (1.山形大)

キーワード：立方晶炭化ケイ素