[21a-A102-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[21a-A102-7] フッ素イオンセンサの高性能化に向けた多結晶と単結晶LaF₃の電気特性比較

〇(M2)神田 海都¹、山田 哲也¹、柳田 保子¹、真柳 弦²、高橋 真博² (1.東工大科学技術創成研究院、2.東北大歯内歯周治療学分野)

キーワード：フッ素イオンセンサ、イオン選択性電極、フッ化ランタン（LaF3)

フッ素イオンセンサ素子として普及している単結晶LaF₃は製造コストが高く小型化が難しい。単結晶LaF₃の代替として多結晶LaF₃を用いた小型センサ電極が研究されているが、センサ性能で単結晶を上回った報告はない。単結晶のセンサ性能が多結晶よりも優れている原因も明らかにされていないのが現状である。本研究では、多結晶と単結晶LaF₃の違いを調べ、多結晶電極の高性能化を目指す。