[21a-A205-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[21a-A205-4] ナノピクセル構造を集積したハイメサ導波路の形成

〇嶋村 雄太¹、桒畑 亮太¹、山内 健生¹、田部井 哲夫²、姜 海松¹、浜本 貴一¹ (1.九州大総合理工、2.広島大ナノデバイス研)

キーワード：ハイメサ導波路、ドライエッチング

日常的な健康モニタリングシステムとして、小型呼気センシングシステムを実現する光集積回路を研究開発している。ナノピクセル構造を用いた非対称分岐とセンシング導波路としてSi/SiO₂ハイメサ導波路の集積を検討している。導波路形成のためにエッチング条件の検討を行い、ナノピクセル構造と集積したハイメサ導波路の形成を行ったのでこれを報告する。