[21a-A304-1~7] 16.2 エナジーハーベスティング

[21a-A304-1] ボロンドープしたシリコンナノ結晶/シリコン酸化膜積層構造の作製及び熱電特性評価

〇柴田 啓介¹、加藤 慎也²、黒澤 昌志¹、後藤 和泰¹、宮本 聡¹、宇佐美 徳隆¹、黒川 康良¹ (1.名大院工、2.名工大院工)

キーワード：熱電素子