[21a-A306-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[21a-A306-1] 銅のナノ秒レーザ加工における表面微細形状の生成過程の高速観察

〇松田 和也¹、長藤 圭介¹、伊藤 佑介¹、鈴木 裕明¹、陳 黎玮¹、服部 隼也¹、杉田 直彦¹、中尾 政之¹ (1.東大院工)

キーワード：レーザ加工、パルスレーザ堆積法、高速観察

ナノ秒レーザ加工はその精密さや加工能率の高さから，金属の穴あけ加工，微粒子生成，表面の微細加工など，幅広い用途で利用されている．より効率的に微粒子生成及び微細加工を行うためにはレーザアブレーションの基礎過程を明らかにする必要がある．本研究ではフェムト秒レーザを観察用レーザとして用いたポンプ・プローブ観察，プルームの自発光の観察，加工後の静的観察から微細形状の生成のメカニズムを考察した．