[21a-A306-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[21a-A306-5] 合成石英内部におけるプラズマチャネル形成過程のパルス幅依存性評価

〇小池 匠¹、伊藤 佑介¹、吉﨑 れいな¹、任 国旗¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工)

キーワード：レーザ加工、プラズマチャネル、時間分解計測

超短パルスレーザを集光した際に材料内部に形成されるプラズマチャネルは，接合，微細孔開けをはじめ産業界で広く応用される．しかし，高強度光照射に起因する強い非線形性故に照射条件がプラズマチャネルの時空間分布に及ぼす影響は十分に掌握されていない．本研究では，電子-格子間エネルギ緩和過程に影響を与える重要なパラメータであるパルス幅がプラズマチャネル形成過程に与える影響を，実験的・数値的両面から評価した．