[21a-A306-1~9] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

[21a-A306-8] Axial position control of an objective lens using laser excited ultrasound for laser drilling

〇(M2)Takuma Miura¹, Kota Kumagai¹, Yoshio Hayasaki¹ (1.Utsunomiya Univ. CORE)

Keywords:laser processing, sound wave, monitoring

フェムト秒レーザーを物質に集光照射すると，多光子吸収によるキャリアの生成，電子格子相互作用を介して，広帯域の音波が生成される．フェムト秒レーザー加工において，ターゲットに対する適切な焦点位置の決定は，加工の品質やスループットを向上するために重要である．本研究では，取得された生成音から対物レンズの位置を制御し，加工時のアブレーションによる表面形状の変化に応じた穴加工を目指す．