[21a-A306-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[21a-A306-8] 穴加工におけるフェムト秒レーザー生成超音波を用いた対物レンズの位置制御

〇(M2)三浦 拓真¹、熊谷 幸汰¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：レーザー加工、音波、モニタリング

フェムト秒レーザーを物質に集光照射すると，多光子吸収によるキャリアの生成，電子格子相互作用を介して，広帯域の音波が生成される．フェムト秒レーザー加工において，ターゲットに対する適切な焦点位置の決定は，加工の品質やスループットを向上するために重要である．本研究では，取得された生成音から対物レンズの位置を制御し，加工時のアブレーションによる表面形状の変化に応じた穴加工を目指す．