[21a-A306-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[21a-A306-9] オゾン水を用いた高効率レジスト剥離技術

〇(M1)中尾 友哉¹、小泉 敦司¹、安國 良平¹、神村 共住¹、吉村 政志²、堀邉 英夫³ (1.大阪工大、2.阪大レーザー研、3.大阪公立大)

キーワード：レジスト剥離、リソグラフィ