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[21a-B103-3] 近回折限界分解能レンズ結像型X線画像検出器の開発
キーワード:X線画像検出器、回折限界、超解像
近年のレンズ結像型X線画像検出器の開発状況について講演する。薄膜シンチレータの光学特性を高めることで近回折限界性能に到達した。150Mpixelsの高解像度CMOSセンサの導入と光学系の最適化を行うことで、視野を広げる計画を進めている。また、回折限界を超える超解像X線画像検出器を考案し開発に着手した。その空間分解能は理論限界で4.8nm line&spaceを解像できる性能となる。