[21a-C102-1~11] 9.4 熱電変換

[21a-C102-5] 多結晶SiGe 薄膜を用いた平面型熱電素子の作製と評価

〇小池 壮太¹、柳澤 亮人¹、黒澤 昌志²、Jha Rajveer³、辻井 直人³、森 孝雄³、野村 政宏¹ (1.東大生研、2.名古屋大、3.物材機構)

キーワード：熱電変換、シリコンゲルマニウム、熱電変換素子