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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[21a-C105-1~12] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

2022年9月21日(水) 09:00 〜 12:15 C105 (C105)

木下健太郎(東理大)、山内智(茨大)

11:00 〜 11:15

△ [21a-C105-8] 金属間化合物CuAl₂におけるエレクトロマイグレーション

〇久家俊洋^1,2、矢作政隆^1,2、小池淳一¹ (1.東北大工、2.JX金属(株))

キーワード：半導体、エレクトロマイグレーション、配線材料