[21a-C106-1~10] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[21a-C106-6] On-demand formation of organic semiconductor crystals due to lyophilic/lyophobic pattering by electrostatic spray deposition

〇Masaki Kobayashi¹, Sou Kaneko¹, Sayaka Hiruta¹, Rei Mizoguchi¹, Ryousei Matsumoto¹, Norio Onojima¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:lyophilic/lyophobic pattering, small molecule/polymer blend, electrostatic spray deposition

本研究では，Si基板上にフッ素系ポリマーのCYTOPをシャド―マスクを用いた静電ス
プレー堆積(ESD)法により成膜した．さらに，親撥パターニングを行った基板上へPh-
BTBT-10/PMMAブレンド膜をESD法で成膜し，Ph-BTBT-10結晶をオンデマンドで形成し
た．この手法は，有機電界効果トランジスタで構成される集積回路への応用が期待でき
る．