[21a-C106-1~10] 12.1 作製・構造制御

[21a-C106-6] 静電スプレー堆積法を用いた親撥パターニングによる有機半導体結晶のオンデマンド形成

〇小林 雅季¹、金子 蒼¹、蛭田 紗佳¹、溝口 嶺¹、松本 崚誠¹、小野島 紀夫¹ (1.山梨大工)

キーワード：親撥パターニング、低分子/ポリマーブレンド、静電スプレー堆積法

本研究では，Si基板上にフッ素系ポリマーのCYTOPをシャド―マスクを用いた静電ス
プレー堆積(ESD)法により成膜した．さらに，親撥パターニングを行った基板上へPh-
BTBT-10/PMMAブレンド膜をESD法で成膜し，Ph-BTBT-10結晶をオンデマンドで形成し
た．この手法は，有機電界効果トランジスタで構成される集積回路への応用が期待でき
る．