[21a-C106-1~10] 12.1 作製・構造制御

[21a-C106-8] アプリケーターを用いた活性層の膜厚化による
ウルトラフレキシブル有機フォトダイオードの低暗電流化

〇森 一馬¹、染谷 隆夫¹、横田 知之¹ (1.東京大工)

キーワード：有機フォトダイオード、製造プロセス、アプリケーター

今回、厚さ1µmの極薄基板上にアプリケーターを用いて活性層を成膜することで、ウルトラフレキシブルな有機フォトダイオードの開発を行った。作製した有機フォトダイオードのデバイス構造を示す。作製した有機フォトダイオードは活性層の厚さが1900 nmであり、波長500 nmでの外部量子効率が60%をしめし、さらに暗電流密度は-2Vの駆動時に2.2×10^-7 A/cm²となっており、従来のスピンコートで作製したデバイスと比較して高い特性を実現することに成功した。さらに、作製した有機フォトダイオードの機械特性を評価したところ、曲げ半径1.5 mmで2000回の繰り返し曲げ試験前後で、暗電流の増加は4 %以下と良好な特性を示した。