2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21a-C206-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2022年9月21日(水) 09:00 〜 12:30 C206 (C206)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、森 伸也(阪大)

11:15 〜 11:30

[21a-C206-9] SiC 結晶表面におけるステップ・テラス構造による電子散乱の理論解析

内海 慶祐1、田中 一1、森 伸也1 (1.阪大院工)

キーワード:SiC、非平衡グリーン関数法、ステップ・テラス