[21a-P01-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[21a-P01-10] 膜質の異なるDLC膜の酸溶液に対する耐食性

〇海老原 匠¹、平塚 傑工²、アリ アルアナジ³、平栗 健二¹ (1.電機大工、2.ナノテック、3.キングサウード大)

キーワード：非晶質炭素膜、耐食性

SDGsやカーボンニュートラルをはじめとして地球環境に配慮した技術が注目を集めており、製品寿命の長期化も重要項目の1つである。金属材料は使用環境によって腐食が進み、製品の故障や劣化を引き起こす。その影響により、金属腐食はメンテナンス等が必要になり、膨大なコストや労力の負担となっている。そこで、膜質の異なるDLC膜の耐食性を評価し、腐食に対する適用環境への情報を提供する。