[21a-P01-1~16] 6.2 Carbon-based thin films

[21a-P01-11] Low friction DLC coating on mechanical components

〇Yutaka Nakamura¹, Takumi Ebihara¹, Kengo Suzuki², Katsuyuki Iida², Takashi Oishi², Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.Sankyo Seisakusho)

Keywords:amorphous carbon thin film, coating on mechanical components

機械部材は、工業分野や医療分野など幅広い領域で用いられている。しかし、機械部材を構成する部品の一部は、加工性が容易ではない金属材料を使用している。さらに、この特殊な金属材料は、加工性が低いことから汎用性に課題がある。そこで、特殊な金属の代用として低摩擦係数や高硬度の特長を持つDLCコーティングに着目した。本研究では、汎用的な鋼材に、異なる成膜方法でDLCコーティングを実施し、摺動性について評価した。