[21a-P01-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[21a-P01-11] 機械部材への低摩擦DLCコーティング

〇中村 優翔¹、海老原 匠¹、鈴木 健吾²、飯田 勝之²、大石 貴司²、平栗 健二¹ (1.電機大工、2.三共製作所)

キーワード：非晶質炭素薄膜、機械部材コーティング

機械部材は、工業分野や医療分野など幅広い領域で用いられている。しかし、機械部材を構成する部品の一部は、加工性が容易ではない金属材料を使用している。さらに、この特殊な金属材料は、加工性が低いことから汎用性に課題がある。そこで、特殊な金属の代用として低摩擦係数や高硬度の特長を持つDLCコーティングに着目した。本研究では、汎用的な鋼材に、異なる成膜方法でDLCコーティングを実施し、摺動性について評価した。