[21a-P01-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[21a-P01-7] 水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射量依存性

〇春山 雄一¹、森本 大貴¹、部家 彰²、住友 弘二²、豊田 紀章²、伊藤 省吾² (1.兵県大高度研、2.兵県大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、原子状水素照射

我々のグループでは、最近、水素化DLC薄膜に対し、原子状水素照射効果を調べ、原子状水素が表面に与える影響を報告してきた。今回、水素フリーDLC薄膜に対し、原子状水素を照射し、その影響を調べた。水素フリーDLC薄膜に対する原子状水素照射前後の炭素1sスペクトルから、原子状水素照射により、sp³結合がリッチな表面になっていることが示された。発表では、原子状水素照射量依存性の詳細について議論する。