[21a-P02-1~50] 10 スピントロニクス・マグネティクス(ポスター)

[21a-P02-29] Pt(O)膜の作製と強磁性共鳴評価

〇中村 潤之介¹、伊津野 光¹、シャシャンク ウトラッシュ²、友田 好郁²、福間 康裕²、浅田 裕法¹ (1.山口大、2.九工大)

キーワード：スピンホール角、スピン軌道トルク、強磁性共鳴

近年、スピン軌道トルク(SOT)を用いたメモリ(SOT-MRAM)やデバイスが提案され、特性向上のためにSOTの大きな材料の開発が望まれている。我々は、イオン注入法によりSイオンを注入したPtにおいて、θ_SHを大きく向上させることに成功している。本研究では、元素としてスパッタ法による作製が可能な酸素に着目し、イオン注入法およびスパッタ法により酸素ドープ白金(Pt(O))を作製し、両素子について強磁性共鳴評価を行ったので報告する。