[21a-P03-1~12] 11 超伝導(ポスター)

[21a-P03-12] 基板加熱スパッタによるNb₃Al薄膜の作製と超伝導特性の評価

〇辻本 学¹、高島 浩¹、吉田 良行¹、古瀬 充穂¹、浦出 芳郎¹、山田 隆宏¹、猪股 邦宏¹、水林 亘¹ (1.産総研)

キーワード：超伝導体薄膜、A15型金属間化合物、スパッタリング

高品質な超伝導体薄膜の作製は、高温超伝導線材の超伝導接続や高コヒーレントな超伝導量子デバイス製造の重要な要素技術である。A15型金属間化合物のNb₃AlはバルクT_cが18 Kと高く、機械的な歪みに対する特性劣化が少ない材料として知られている。今回、REBCOの低損失超伝導接続で培った技術をベースに、STO基板上にNb₃Alのスパッタリングを試みたので実験結果を報告する。