[21a-P04-1~11] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

[21a-P04-7] Modification of organic monolayers by UV/ozone treatment for solution-processed organic transistors.

〇Satoshi Inoue¹, Yoshiaki Hattori¹, Masatoshi Kitamura¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:UV/ozone treatment, organic transistor, spin-coating

トランジスタ作製において，ゲート絶縁膜の表面状態を改善させる手法としては，hexamethyldisilazaneなどの有機分子を用い，絶縁膜表面に有機単分子膜を修飾させる技術が良く知られている．しかし，その改質により基板表面が疎水性になるため，塗布法による有機薄膜の製膜が困難になる．そこで本研究では，塗布型有機薄膜トランジスタ作製にむけて，有機単分子膜を修飾した絶縁膜にUV/オゾン処理を行い，単分子膜を改質する手法を検討した．