[21a-P04-1~11] 12.4 有機EL・トランジスタ

[21a-P04-7] 塗布型有機薄膜トランジスタのためのUV/オゾン処理による有機単分子膜の改質

〇井上 聡¹、服部 吉晃¹、北村 雅季¹ (1.神戸大院工)

キーワード：UV/オゾン処理、有機トランジスタ、スピンコート

トランジスタ作製において，ゲート絶縁膜の表面状態を改善させる手法としては，hexamethyldisilazaneなどの有機分子を用い，絶縁膜表面に有機単分子膜を修飾させる技術が良く知られている．しかし，その改質により基板表面が疎水性になるため，塗布法による有機薄膜の製膜が困難になる．そこで本研究では，塗布型有機薄膜トランジスタ作製にむけて，有機単分子膜を修飾した絶縁膜にUV/オゾン処理を行い，単分子膜を改質する手法を検討した．