2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

9 応用物性 » 9.3 ナノエレクトロニクス

[21p-A102-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

2022年9月21日(水) 13:00 〜 15:45 A102 (A102)

水柿 義直(電通大)、大矢 剛嗣(横国大)

13:00 〜 13:15

[21p-A102-1] 金属有機構造体への閉じ込めによるイオン液体の熱的物性変化

大平 一路1、高 相圭1、小出 太貴1、荒井 朝陽1、糸井 充穂2、横田 麻莉佳2、甲斐 洋行1、木下 健太郎1 (1.東理大、2.日大)

キーワード:金属有機構造体、イオン液体

イオン液体(IL)は難揮発性, 高イオン伝導性などの優れた特性から新規電解質として注目されている。一方で、液体故に半導体デバイスプロセスへの適用が課題となっている。近年、金属有機構造体(MOF)の多孔骨格にILを導入することで固体プロセスへの適用を可能にした戦略が提案されている。本研究では代表的なMOFであるCu3(btc)2の多孔骨格に閉じ込めたILの物性変化を熱分析の観点から議論する。