[21p-A202-1~12] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

[21p-A202-8] P型GaAsヘテロ構造を用いたMEMSボロメータ構造のピエゾ抵抗信号検出と周波数雑音

〇(M2)小田嶋 修^1,2、邱 博奇²、牛 天野^1,2、渡辺 宣朗²、長井 奈緒美²、張 亜³、平川 一彦² (1.東大大学院、2.東大生研・ナノ量子機構、3.東京農工大)

キーワード：テラヘルツ、MEMSセンサ

検出技術が課題となるTHz領域の電磁波に対して、両持ち梁構造のMEMS共振器によるボロメータにより、高感度・高速・室温動作での検出が可能となる。今回、P型基板によるピエゾ抵抗効果を利用した検出を行い、従来の圧電効果を利用した検出に対し、1000倍程度の出力信号を得ることができた。また周波数雑音について測定を行い、梁の駆動電力と検出側のバイアス電圧を大きくすることで、雑音を低減できることが分かった。