[21p-A205-1~21] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[21p-A205-20] リング共振器に作製したSi導波路ヒータの共振特性と上昇温度の考察

〇太田 那菜¹、篠原 宏太¹、清水 大雅¹ (1.東京農工大工)

キーワード：Siリング共振器、ヒータ、光集積回路