[21p-A205-1~21] 3.14 Silicon photonics and integrated photonics (formerly 3.15)

[21p-A205-4] Design of high-speed ladder-slot-waveguide-type Si organic polymer hybrid modulators

〇Shunsuke Abe^1,2, Hideo Hara², Shin Masuda², Hirohito Yamada¹ (1.Tohoku univ., 2.Advantest labs. Ltd.)

Keywords:EO polymer, Modulator

Si変調器の高性能化のためSi・電気光学ポリマハイブリッド変調器の開発を行っている。ラダースロット導波路構造で設計を行った結果、RCによる帯域制限を従来構造よりも改善でき、EO変調帯域80 GHz以上の見込みを得た。