[21p-A205-1~21] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[21p-A205-4] ラダースロット導波路型Si 有機ポリマハイブリッド高速変調器の設計

〇阿部 峻佑^1,2、原 英生²、増田 伸²、山田 博仁¹ (1.東北大院工、2.アドバンテスト研)

キーワード：EOポリマ、変調器

Si変調器の高性能化のためSi・電気光学ポリマハイブリッド変調器の開発を行っている。ラダースロット導波路構造で設計を行った結果、RCによる帯域制限を従来構造よりも改善でき、EO変調帯域80 GHz以上の見込みを得た。