[21p-A205-1~21] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

△ [21p-A205-6] 64 Gbps Si フォトニック結晶光変調器の変調効率改善

〇川原 啓輔¹、鎌田 幹也¹、雛倉 陽介¹、岡野 誠²、Cong Guangwei²、山本 宗継²、山田 浩治²、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工、2.産総研)

キーワード：光変調器、フォトニック結晶、スローライト

本研究ではフォトニック結晶導波路Siマッハツェンダ光変調器の導波路群屈折率を従来の20から30へと増大させ，電極長と終端抵抗を併せて最適化することで変調効率を改善した．その結果，64 GbpsのNRZ信号に対して3.5 V_ppの駆動電圧で良好なアイ開口を観測した．また消光比は従来の2.3 dBから3.6 dBへと改善した．