[21p-A301-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

[21p-A301-10] ガスセンサ測定における繰り返し測定によるSN比の向上

〇今村 岳^1,2、吉川 元起^1,3、南 皓輔¹ (1.物材研、2.阪大院、3.筑波大院)

キーワード：ガスセンサ、ノイズ低減、膜型表面応力センサ（MSS）

センサを用いたガス測定では、検知対象となるガスが微量であるために、SN比が低い測定結果しか得られないことがある。本研究では、試料ガスの導入（サンプリング）とキャリアガスの導入（パージ）を交互に繰り返し行うことにより、得られたセンサシグナルからSN比を向上させた測定結果を得ることができることを解析的に示すとともに、膜型表面応力センサ（MSS）を用いた測定により実験的に示した。