[21p-A304-1~13] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

△ [21p-A304-10] 高速Vapor Liquid Solid成長法により作製したYBa₂Cu₃O_y膜の表面形態と成長速度

〇美和 虎之介¹、吉田 隆¹ (1.名大工)

キーワード：超電導、薄膜、YBCO

我々は、金属基板上に液相を介在して成長するVapor Liquid Solid (VLS)法を用いて厚膜YBCO線材の作製に成功した。また、VLS成長法は凝集係数の違いから、低過飽和度において気相成長より成長速度が大きいことが知られている。本研究では、VLS成長法における固液界面の過飽和度について議論するため、VLS成長法を用いて単結晶基板上にYBCO膜を作製し、その表面観察から成長速度と過飽和度に関して考察する。