[21p-A304-1~13] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[21p-A304-12] VLS成長法におけるREBCO薄膜の成長形態のシミュレーション

〇有田 知徳¹、一野 祐亮²、吉田 隆¹ (1.名大工、2.愛工大)

キーワード：REBCO超伝導体、結晶成長シミュレーション

我々はこれまで、Vapor-Liquid-Solid(VLS)成長法のBaMO₃ (BMO)添加REBa₂Cu₃O_y(REBCO)薄膜結晶成長シミュレーションを開発し、VLS成長におけるBMOの自己組織化について報告した。本研究では、VLS成長法における成膜条件の変化がREBCOの成長形態に与える影響を明らかにすることを目的として、VLS法における薄膜結晶成長シミュレーションを成膜温度およびBMO添加量を変更して行い、層ごとの被覆率から成膜条件による成長形態への影響を検討した。