[21p-A306-1~16] 11.4 アナログ応用および関連技術

[21p-A306-10] エッジシールドを有したSTJを用いた材料分析に関する研究

〇(M1)野口 剛志¹、藤井 剛²、志岐 成友²、中島 昭²、田井野 徹¹ (1.埼玉大院、2.産総研)

キーワード：超伝導、STJ、超伝導トンネル接合

超伝導トンネル接合(通称：STJ)検出器の上部に、検出器周辺部での準粒子再結合による分解能悪化を防ぐ目的でエッジシールドを搭載した。このSTJ検出器を用いてSiCのAlドーパントとGaNのMgドーパントの二種類のサンプルを分析し、エッジシールドSTJの性能を評価した。