[21p-A306-1~16] 11.4 アナログ応用および関連技術

△ [21p-A306-7] 超高Q値の薄膜超伝導共振器

〇(M2)村山 亮介^1,4、美馬 覚^2,4、野口 卓^3,4、田井野 徹^1,4、大谷 知行^4,5 (1.埼玉大、2.NICT、3.天文台、4.理研、5.東北大)

キーワード：マイクロ波力学インダクタンス検出器、薄膜型共振器、超伝導体

マイクロ波力学インダクタンス検出器で用いられる薄膜超伝導共振器では、10⁵-10⁶程度の共振Q値が得られているが、粒子加速器で利用されているバルク超伝導体の空洞共振器のような非常に高い共振Q値(最大約10¹⁰)は実現できていない。原因として考えられる、薄膜型共振器を構成する伝送線路の信号導体と地導体の間に介在する基板を含む誘電体による損失低減のために、新しい構造を提案し、その作製、測定結果について報告する。