[21p-A404-1~17] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[21p-A404-3] テラヘルツ帯におけるブルズアイアンテナ–シリコン導波路結合デバイス

〇岡谷 泰佑¹、今井 薫¹、瀧田 佑馬²、大野 誠吾^1,2、南出 泰亜²、金森 義明¹ (1.東北大、2.理研)

キーワード：ブルズアイアンテナ、シリコン導波路、テラヘルツ波

本研究では，薄型アンテナとしてブルズアイアンテナ，低損失な導波路として高抵抗シリコンからなる導波路を用いたアンテナ–導波路結合デバイスを提案する。アンテナ及び導波路の構造はシリコンに対するマイクロマシニングにより形成し，アンテナについては銅めっき成膜を行った。アンテナ側に0.46 THzの波を入射し，導波路端面付近に偏光子及び検出器を置いたところ，アンテナ基板に垂直な偏波成分の導波を確認できた。