[21p-A404-1~17] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[21p-A404-6] 深紫外表面プラズモン励起のためのナノホールアレイ構造の最適化および光電子放出への応用

〇(D)森澤 洋文¹、小野 篤史¹、居波 渉¹、川田 善正¹ (1.静岡大学)

キーワード：ナノフォトニクス、プラズモニクス、光電変換

深紫外表面プラズモンの励起のためのアルミニウムナノホールアレイ構造の最適化と光電子放出への応用結果を報告する．ナノホールアレイの構造パラメータは電磁場解析によりの最適化し，ナノスフェアリソグラフィにより構造を作製した．エッチング時間の最適化により深紫外表面プラズモン共鳴の励起を可能とした．光電子放出効率は3倍程度増強することがわかり，深紫外表面プラズモン共鳴による光電変換の高効率化を実証した．