2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年9月21日(水) 13:30 〜 18:00 B201 (B201)

片山 竜二(阪大)、船戸 充(京大)、正直 花奈子(三重大)

15:30 〜 15:45

[21p-B201-8] 量子殻デバイス成長時の選択成長マスク上のピンホール抑制に関する検討

山村 志織1、中山 奈々美1、神野 幸美1、勝呂 紗衣1、高橋 美月1、山中 優輝1、島 綾香1、伊井 詩織1、稲葉 颯磨1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、上山 智1 (1.名城大学)

キーワード:ナノワイヤ、選択成長、ピンホール