[21p-B203-1~20] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [21p-B203-11] Polishing and etching damages of ZnO single crystals studied by time-resolved photoluminescence spectroscopy

〇Takumi Kasuya¹, Kohei Shima¹, Shigefusa Chichibu¹ (1.IMRAM-Tohoku Univ.)

Keywords:Zinc oxide, Time-resolved photoluminescence, Chemo-mechanical polishing

我々は、化学機械研磨により極薄膜化した水熱合成ZnO単結晶を活性層に用いる微小共振器を形成し、室温において励起子ポラリトン発光を観測したことを報告した。本講演では、化学機械研磨およびその後のHClエッチングがZnO単結晶の室温発光効率に及ぼす影響を時間分間フォトルミネッセンス法により評価した結果を報告する。