[21p-B203-1~20] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [21p-B203-11] 時間分解フォトルミネッセンスによるZnOのプロセス誘起欠陥評価

〇粕谷 拓生¹、嶋 紘平¹、秩父 重英¹ (1.東北大多元研)

キーワード：酸化亜鉛、時間分解フォトルミネッセンス、化学機械研磨

我々は、化学機械研磨により極薄膜化した水熱合成ZnO単結晶を活性層に用いる微小共振器を形成し、室温において励起子ポラリトン発光を観測したことを報告した。本講演では、化学機械研磨およびその後のHClエッチングがZnO単結晶の室温発光効率に及ぼす影響を時間分間フォトルミネッセンス法により評価した結果を報告する。