[21p-B203-1~20] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [21p-B203-2] 飛行時間型質量分析によるβ-Ga₂O₃の有機金属気相成長の解析

〇(M1)外里 遥¹、西村 太郎¹、池永 和正^1,2、佐々木 捷悟³、後藤 健¹、石川 真人⁴、町田 英明⁴、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大院工、2.大陽日酸(株)、3.東京農工大FLOuRISH、4.気相成長(株))

キーワード：酸化ガリウム、有機金属気相成長法