[21p-C102-1~17] 9.4 熱電変換

△ [21p-C102-4] Al doped ZnO 透明薄膜/Al₂O₃のゼーベック係数増大とその機構

〇小松原 祐樹¹、石部 貴史¹、大江 純一郎²、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.東邦大)

キーワード：透明熱電材料、酸化亜鉛、ゼーベック係数

現在、廃熱を電気へ直接変換可能な熱電発電が注目されている。我々は、安価で社会実用性に優れたZnO透明薄膜に注目し、結晶方位制御したナノドメイン形成による出力因子増大を目指し、c, r-Al₂O₃基板上にそれぞれAl doped ZnO (AZO)のエピタキシャル薄膜を成長した。ゼーベック係数（S）を測定すると、両試料において理論曲線では説明できないS増大傾向を示した。このS増大はAl原子導入による電子状態変化に起因するものと考えられる。