[21p-C102-1~17] 9.4 Thermoelectric conversion

△ [21p-C102-4] Seebeck coefficient enhancement of transparent Al doped ZnO film on Al₂O₃ substrate and its mechanism

〇Yuki Komatsubara¹, Takafumi Ishibe¹, Ohe Jun-ichiro², Yoshiaki Nakamura¹ (1.Osaka Univ., 2.Toho Univ.)

Keywords:transparent thermoelectric material, zinc oxide, seebeck coefficient

現在、廃熱を電気へ直接変換可能な熱電発電が注目されている。我々は、安価で社会実用性に優れたZnO透明薄膜に注目し、結晶方位制御したナノドメイン形成による出力因子増大を目指し、c, r-Al₂O₃基板上にそれぞれAl doped ZnO (AZO)のエピタキシャル薄膜を成長した。ゼーベック係数（S）を測定すると、両試料において理論曲線では説明できないS増大傾向を示した。このS増大はAl原子導入による電子状態変化に起因するものと考えられる。