2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[21p-C105-1~11] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2022年9月21日(水) 13:30 〜 16:30 C105 (C105)

矢嶋 赳彬(九大)、森 貴洋(産総研)

16:15 〜 16:30

[21p-C105-11] 積層Siナノシート熱電発電デバイスの最適設計

三宅 由馬1、安部 克基1、富田 基祐1、松木 武雄2、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.産総研)

キーワード:熱電発電、Siナノシート

当グループでは、プレーナ型熱電発電デバイスを考案し実証実験を行ってきたが、熱電デバイスにも微細化限界が存在するため、面内に集積化できるデバイスの密度にも上限がある。そこで積層SiナノシートFET のような3次元構造を採用し、さらに発電密度を高められるかFEM解析した。結果は、開放電圧と電気抵抗にトレードオフの関係があり積層数を増やせばいいわけではないが、3次元的構造で十分な発電性能が得られた。