[21p-C105-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[21p-C105-11] 積層Siナノシート熱電発電デバイスの最適設計

〇三宅 由馬¹、安部 克基¹、富田 基祐¹、松木 武雄²、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：熱電発電、Siナノシート

当グループでは、プレーナ型熱電発電デバイスを考案し実証実験を行ってきたが、熱電デバイスにも微細化限界が存在するため、面内に集積化できるデバイスの密度にも上限がある。そこで積層SiナノシートFET のような3次元構造を採用し、さらに発電密度を高められるかFEM解析した。結果は、開放電圧と電気抵抗にトレードオフの関係があり積層数を増やせばいいわけではないが、3次元的構造で十分な発電性能が得られた。