2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[21p-C106-1~11] 6.5 表面物理・真空

2022年9月21日(水) 13:30 〜 16:30 C106 (C106)

吉越 章隆(原子力機構)、光原 圭(コベルコ科研)

15:30 〜 15:45

[21p-C106-8] イオンミリングした酸化亜鉛表面のカソードルミネセンス特性

細見 圭1,2、居波 渉1,2、川田 善正1,2 (1.静大、2.CREST)

キーワード:酸化亜鉛、カソードルミネセンスイメージング、イオンビーム

ZnOは高効率近紫外発光を期待できるため、電子線励起支援(EXA)光学顕微鏡のナノ光源として用いることができる。EXA顕微鏡では、収束電子線を走査し蛍光膜を発光させ高空間分解能を得る。本研究では、イオンミリング法によりZnO薄膜表面を平坦化し、蛍光膜内での発光強度の均一化を試みた。