[21p-C106-1~11] 6.5 表面物理・真空

[21p-C106-8] イオンミリングした酸化亜鉛表面のカソードルミネセンス特性

〇細見 圭^1,2、居波 渉^1,2、川田 善正^1,2 (1.静大、2.CREST)

キーワード：酸化亜鉛、カソードルミネセンスイメージング、イオンビーム

ZnOは高効率近紫外発光を期待できるため、電子線励起支援（EXA）光学顕微鏡のナノ光源として用いることができる。EXA顕微鏡では、収束電子線を走査し蛍光膜を発光させ高空間分解能を得る。本研究では、イオンミリング法によりZnO薄膜表面を平坦化し、蛍光膜内での発光強度の均一化を試みた。