[21p-C201-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[21p-C201-5] ケルビン・プローブ・フォース法を併用した時間分解静電引力顕微鏡

〇佐藤 捷¹、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構)

キーワード：時間分解静電引力顕微鏡、ケルビン・プローブ・フォース法、ポンププローブ

時間分解静電引力顕微鏡（tr-EFM）は，試料における電荷の生成・再結合，輸送などの電荷ダイナミクスの評価を可能にする．これまでに，ポンププローブ法を活用したtr-EFMが考案されている．しかし，その手法では接触電位差（CPD）の補正が行われていない．そこで，ケルビン・プローブ・フォース法（KFM）によるCPD補正を同時に行うtr-EFM手法を考案した．本研究では，この手法の動作検証を行った．