[21p-C306-1~5] 7.2 電子ビーム応用

△ [21p-C306-3] Si基板上h-BN直接成膜技術とgraphene/h-BN/Si積層型平面電子源の開発

〇山本 将也^1,2 (1.静大電研、2.産総研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、グラフェン、電子源